CTS-STBS-xx-A

FOUP 检测传感器是安装在半导体线设备中的Load Port或STB, Stocker等上，接触式检测是否有Wafer Carrier (FOUP/FOSB/POD/MAC)的传感器。

由于是接触式检测，不受环境光噪音或电磁波噪音等影响，可以稳定地检测物体有无，采用内部传感器光学方式，保证500万次以上的使用寿命。